Medición y control de vacío
Los instrumentos utilizados para medir la presión dentro de este amplio rango se denominan vacuómetros y miden desde una presión superior a la atmosférica (~ 2000 mbar (1500 Torr)) hasta 10-12 mbar/torr. Ninguna tecnología de sensor individual es capaz de medir en este rango.
Con una amplia gama de sistemas y procesos de vacío surge la necesidad de medir el rendimiento del vacío.
Por lo tanto, hay disponible una variedad de vacuómetros diferentes, cada uno con sus propias características y capacidad para medir durante varias décadas de vacío. Para ampliar el rango de medición, ahora es común combinar múltiples tecnologías en un solo indicador para reducir las conexiones necesarias en un sistema.
Una forma principal de diferenciar los tipos de vacuómetros es cómo miden el gas: mediciones de presión directas o indirectas.
- En el caso de medidas de presión directas (o independientes del gas) , las lecturas obtenidas a través del vacuómetro son independientes del tipo de gas y la presión dada es siempre la presión real del sistema. A menudo, basándose en una desviación mecánica de una membrana, estos son capaces de medir desde una presión superior a la atmosférica hasta 10 -4 mbar/torr. Estos tipos de medidores le brindarán una alta precisión en un rango corto y, por lo general, son muy robustos.
- En el caso de mediciones indirectas de presión , la presión se determina en función de una propiedad del gas dependiente de la presión (conductividad térmica, probabilidad de ionización, por ejemplo).
